催化焚烧设备：多晶硅出产过程中需求什么样的废气处理设备
在多晶硅的出产中，还会发作必定的废气和残液，现在咱们的催化焚烧设备现已比较先进，对曾经的处理技能进行了改善，现已达到了较高的水平。
多晶硅是太阳能和微电子工业的要害原材料，跟着我***太阳能工业的快速开展，多晶硅的需求量也日积月累。现在，多晶硅工艺技能空前活泼。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技能等。西门子法是经过气相堆积的方法出产柱状多晶硅。为了进步质料使用率，在原基础上选用闭环式出产工艺即改进西门子法。改进西门子工艺出产的多晶硅产能约占***际总产能的80%。
***内外对西门子法制备高纯多晶硅的研讨较多。如张玉等人选用催化化学气相堆积法制备多晶硅薄膜;美***M.M.Dahl等人研讨了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒成长。此外，多晶硅的出产技能还有碳热复原法、区域熔炼法等。碳热复原法是使用高纯碳复原二氧化硅制取多晶硅，区域熔炼法是使用金属定向凝结原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。
废气和残液的处理
在多晶硅制备中有很多的废气和废液发作，***内***都单位一般先用水洗水解，然后经过NaOH中和废气处理和残液处理工序。
废气净化
氯硅烷别离提纯工序各精馏塔***排放的含氯硅烷、氮气的废气，及含氯硅烷、氢气、氮气、氯化氢的多晶硅复原炉置换吹扫气和多晶硅复原炉事端排放气等，被送进尾气洗刷塔组，用水(盐酸溶液)洗刷，废气中的氯硅烷与水发作以下反响而被除掉：
SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2
SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl
SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2
出尾气处理塔***含有氮气和氢气的废气经液封罐放空，出尾气处理塔塔底含有SiO2固体的盐酸溶液用泵送入工艺废料处理工序。
